Технический интерфереционный метод поверки концевых мер длины
ФБУ «Пермский ЦСМ» имеет возможность поверки концевых мер длины 3-го и 4-го разрядов техническим интерференционным методом. Метод основан на определении разности длин эталонной и поверяемой мер при помощи интерференционной картины. По характеру интерференционных полос определяются следующие величины:
- разность длин сравниваемых мер;
- отклонение поверяемой меры от плоскопараллельности;
- отклонение поверяемой меры от плоскостности.
Технический интерференционный метод позволяет сравнивать концевые меры длины, разность размеров которых не превышает 1,5 мкм.
Ранее метод широко использовался для поверки концевых мер длины, но в настоящее время он в значительной мере вытеснен контактными приборами, обеспечивающими более высокую производительность измерений. Однако метод не утратил полностью своего значения и незаменим при арбитражных измерениях.